主動(dòng)照明多焦面疊加是一種為了測(cè)量粗糙的表面形狀而開發(fā)的光學(xué)技術(shù)。這項(xiàng)技術(shù)基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測(cè)量領(lǐng)域的廣泛專業(yè)知識(shí)，專門設(shè)計(jì)用于補(bǔ)充低放大率下的測(cè)量。

BACKGROUND

多焦面疊加原理

主動(dòng)照明多焦面疊加技術(shù)利用了明場(chǎng)中存在景深的特點(diǎn)，樣品只有在的特定 z 范圍中對(duì)焦。 景深會(huì)根據(jù)物鏡的數(shù)值孔徑或光源波長而變化。 Z 高度的值是根據(jù)圖像的高對(duì)比度（清晰度或微小細(xì)節(jié)）來計(jì)算的，從而得出正確的對(duì)焦位置。

光學(xué)技術(shù)

我們的光學(xué)技術(shù)是通過專*的microdisplay來實(shí)現(xiàn)，光線會(huì)從光源 (LED) 發(fā)出，同時(shí)穿過microdisplay上陣列排布的光學(xué)元件，反射到達(dá)相機(jī)。 在這種情況下，microdisplay就像一面鏡子（100% 反射率）。 這種光學(xué)技術(shù)就像一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的視頻顯微鏡。 通過執(zhí)行垂直掃描，可以在每個(gè)平面上捕獲明場(chǎng)圖像。

專*算法

克服多焦面疊加的限制

在較為光滑的表面上，對(duì)焦時(shí)會(huì)無法獲得足夠的信號(hào)來識(shí)別正確的焦點(diǎn)位置。 這通常是因?yàn)樵诠饣砻娴纳希瑫?huì)出現(xiàn) 3D 雜訊。 Sensofar 使用主動(dòng)照明進(jìn)行了改進(jìn)，現(xiàn)在通過microdisplay 投射出人造紋理（棋盤圖案），即使在光滑表面上因?yàn)閷?duì)比度差而在對(duì)焦時(shí)無法提供足夠的信號(hào)，也能獲得更可靠的對(duì)焦位置。

主要特點(diǎn)

該技術(shù)的亮點(diǎn)包括高斜率表面(高達(dá) 86o),掃描速度(3 mm/s）和較大的垂直范圍測(cè)量。

在散射表面上測(cè)量可達(dá) 86o 的斜率支援

主動(dòng)照明允許在光滑表面上進(jìn)行測(cè)量 

快速掃描，3 秒內(nèi)拍攝200張圖像 

多個(gè)光源